Татаринцев Андрей Андреевич

Татаринцев Андрей Андреевич

кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник

Тел. (495)939-38-95; (495)939-52-33

Комн. 1-57а; 1-70

Профиль в системе ИСТИНА; Researchgate; Scopus

Дата рождения:

18 января 1987 г.

Образование, ученые степени и карьера:

Физический факультет МГУ, 2010 г.

м.н.с. Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН), 2010 г.

Кандидат физико-математических наук, 2013 г.

н.с. Физико-технологический институт РАН (ФТИАН), 2014 г.

с.н.с. Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова, 2016 г.

Член государственной экзаменационной комиссии.

Научные интересы:

сканирующая электронная микроскопия, электронно-лучевая литография, зарядка диэлектриков под действием пучков электронов, многослойные наноструктуры, неразрушающие бесконтактные методы и дополнительные устройства диагностики в СЭМ, полупроводниковая электроника, микро- и наносистемы и технология их изготовления, МЭМС и НЭМС.

Публикации:

Автор более 60 публикаций: из них 28 статей и 36 тезисов.

Подготовил 3 магистров.