Татаринцев Андрей Андреевич
кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник
Тел. 8(495)939-38-95; 8(495)939-52-33
Комн. 1-57а; 1-70
Профиль в системе ИСТИНА; Researchgate; Scopus
Дата рождения:
18 января 1987 г.
Образование, ученые степени и карьера:
Физический факультет МГУ, 2010 г.
м.н.с. Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН), 2010 г.
Кандидат физико-математических наук, 2013 г.
н.с. Физико-технологический институт РАН (ФТИАН), 2014 г.
с.н.с. Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова, 2016 г.
Член государственной экзаменационной комиссии.
Научные интересы:
сканирующая электронная микроскопия, электронно-лучевая литография, зарядка диэлектриков под действием пучков электронов, многослойные наноструктуры, неразрушающие бесконтактные методы и дополнительные устройства диагностики в СЭМ, полупроводниковая электроника, микро- и наносистемы и технология их изготовления, МЭМС и НЭМС.
Публикации:
Автор более 60 публикаций: из них 28 статей и 36 тезисов.
Подготовил 3 магистров.