Атомно-силовой микроскоп VEGA (NT-MDT)
Особенностью микроскопа является возможность исследования образцов с размерами до 200×200 мм и толщиной до 40 мм.
Методики измерений, доступные в базовой конфигурации:
Контактная атомно-силовая микроскопия: исследование рельефа, распределения жесткости, сопротивления растекания.
Полуконтактная атомно-силовая микроскопия.
АСМ спектроскопия: Силовая, Амплитудная, Фазовая, I(V), I(Z).
Магнитно-силовая микроскопия: исследование магнитных свойств образца.
Сканирующая емкостная силовая микроскопия: отображение dC/dZ и dC/dV.
Кельвин-зондовая силовая микроскопия: картирование локального потенциала поверхности.
Силовая мискроскопия пьезоотклика и переключательная спектроскопия.
Нанолитография: вольтовая, токовая, силовая.
