Ионно-пучковые нанотехнологии

Руководитель - Черныш Владимир Савельевич

к. 3-57, тел. 8(495)939-29-89; к. Ц-60, тел. 8(495)939-19-79; 19-й корпус НИИЯФ к. 1-40, тел. 8(495)939-37-70

Ионно-пучковые нанотехнологии

При взаимодействии ускоренных ионов с поверхностью твердых тел наблюдается целый комплекс процессов, связанных с эмиссией различного рода вторичных частиц, рассеянием бомбардирующих ионов поверхностью, проникновением ионов вглубь твердого тела и т.д. Особое место в этом ряду занимает явление эмиссии атомов твердого тела, получившее название распыления и играющее основную роль в разрушении поверхности. Экспериментальные и компьютерные исследования пространственных распределений частиц, распыленных из одно- и многокомпонентных мишеней, изучение процессов формирования нанорельефа на поверхности различных материалов, создание наноструктур как с помощью распыления, так и путем ионного внедрения, направлены на разработку физических основ новых нанотехнологий.

Изучаются основные закономерности и механизмы фоpмиpования заpядовых состояний атомных частиц пpи их взаимодействии с повеpхностью твеpдых тел и наноструктур, а также влияние электронных переходов на возможности диагностики и селективной модификации поверхности.

Ионно-пучковые нанотехнологии

В 2007 году на базе группы создана совместная лаборатория Физического факультета МГУ, НИИЯФ МГУ и ОАО «ТЕНЗОР». В конце 2010 года в лаборатории при поддержке ОАО «Тензор» был реализован проект по созданию ускорителя газовых кластерных ионов. На созданном ускорителе получены пучки ускоренных кластерных ионов инертных газов, в составе которых наблюдаются ионы от мономеров до кластеров, состоящих из нескольких тысяч атомов. Уже первые эксперименты, выполненные на этом ускорителе, привели к обнаружению нового механизма распыления кластерными ионами.

Наряду с этим в совместной лаборатории при поддержке ОАО «Тензор» был создан уникальный ускорительный комплекс на энергии атомарных ионов до 500 кэВ. В рамках ряда хоздоговоров с предприятиями г. Зеленограда на созданном комплексе проводились исследования по ис-пользованию ионной имплантации для создания наноструктур, в частности, для улучшения кристаллической структуры пленок крем-ния, выращенных на сапфире (так называемые КНС структуры).

Ионно-пучковые нанотехнологии Ионно-пучковые нанотехнологии

В кратчайшие сроки лаборатории удалось завоевать ведущие позиции в нашей стране в этой области. Проводятся также исследования, направленные на развитие современных методов изучения наноматериалов и нанообъектов. В частности, в последние годы проводится освоение спектроскопии рассеяния ионов средних энергий, которая позволяет изучать состав поверхности разрешением по глубине анализа на уровне монослоя.

В настоящее время исследования проводятся по следующим направлениям:

Коллектив совместной лаборатории
Черныш Владимир Савельевич д.ф.-м.н., профессор
Миннебаев Кашиф Файзелхакович к.ф.-м.н., с.н.с.
Иешкин Алексей Евгеньевич к.ф.-м.н., н.с.
Коробова Юлия Геннадьевна к.ф.-м.н., н.с.
Ермаков Юрий Анварович к.ф.-м.н.
Шемухин Андрей А. к.ф.-м.н.
Балакшин Юрий В.
Назаров Антон Викторович
Киреев Дмитрий Сергеевич аспирант
Кожемяко Анастасия Владимировна аспирант
Кушкина Ксения Дмитриевна аспирант
Данилов Андрей Викторович магистр
Евсеев Александр Павлович магистр
Миннебаев Дамир Кашифович магистр
Панин Сергей Евгеньевич магистр
Бурикова Светлана Владимировна бакалавр
Воронина Мария Юрьевна бакалавр

Сайт лаборатории