Рау Эдуард Иванович
доктор физико-математических наук, главный научный сотрудник
Тел. 8(495)939-38-95; 8(495)939-52-33
Комн. 1-57а; 1-70
e-mail: rau@phys.msu.ru
Профиль в системе ИСТИНА
Дата рождения:
3 декабря 1941 г.
Образование, ученые степени и звания:
Физический факультет МГУ, 1967 г.
Кандидат физико-математических наук, 1975 г.
Доктор физико-математических наук, 1993 г.
Профессор, 1995 г.
Научные интересы:
Взаимодействие электронных пучков с твердотельными средами. Физические и технические аспекты сканирующей электронной микроскопии. Электронная микротомография микро- и наноструктур. Диагностика приборов микроэлектроники в сканирующей электронной микроскопии. Проблемы зарядки диэлектрических мишеней при их облучении заряженными частицами. Новые электронно-зондовые методы и устройства для исследования микрообъектов в сканирующей электронной микроскопии.
Участие в советах:
Член Ученого совета Физического факультета МГУ.
Член научного совета РАН по электронной микроскопии.
Член диссертационного совета МГУ.01.12
Член докторского диссертационного совета Д.002.081.01 при Институте проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН.
Член Программного комитета Российских конференций по электронной микроскопии
Публикации:
Автор более 250 статей в отечественных и зарубежных научных журналах, имеет 22 авторских свидетельства на изобретения
Ученики:
Подготовил 18 кандидатов наук, более 50 студентов-дипломников.